Tungsten Sputtering Target

A volfrámporlasztó céltárgyak készítéséhez használt nagy tisztaságú volfrám általában törékeny, és nehéz vele dolgozni. A wolfram megőrzi keménységét (amely nagyobb, mint sok acélé), és elegendő rugalmassággal rendelkezik ahhoz, hogy könnyen feldolgozható legyen, ha nagyon tiszta anyaggá alakítják. Kovácsoláson, nyújtáson vagy extrudáláson megy keresztül. Jellemzően szinterezést is alkalmaznak wolfram tárgyak létrehozására.

A volfrám rendelkezik a legerősebb szakítószilárdsággal, a legalacsonyabb gőznyomással (1650 °C, 3000 °F feletti hőmérsékleten) és a legmagasabb olvadásponttal a tiszta formában lévő fémek közül (3422 °F, 6192 °F). Az összes tiszta fém közül a volfrámnak van a legkisebb hőtágulási együtthatója. A volfrámatomok között az 5d elektronok által létrehozott erős kovalens kapcsolatok a volfrám alacsony hőtágulását, magas olvadáspontját és nagy szakítószilárdságát biztosítják. Az acél lényegesen tartósabbá válik, ha szerény mennyiségben volfrámot ötvöznek vele.

A különféle formájú és tisztaságú volfrámporlasztó céltárgyak gyártása a Yusheng Metal specialitása, amelyet leginkább a félvezető- és mikroelektronikában használnak. Az összes fém közül a legmagasabb olvadáspontjuknak köszönhetően a volfrámrétegek, amelyek a TFT-LCD képernyőkben használt vékonyréteg-tranzisztorok részét képezik, hihetetlenül stabilak magas hőmérsékletű környezetben. Célpontjaink nagyobb sűrűséggel, kisebb átlagos részecskemérettel és nagyobb tisztasággal rendelkeznek az egyedülálló alakítási technikáink eredményeként, lehetővé téve, hogy a nagyobb porlasztási sebességnek köszönhetően gyorsabb folyamatot tudjon kihasználni, és nagyon homogén volfrámrétegeket állítson elő.

Rugalmas gyártási technikánk lehetővé teszi a mikrostruktúra módosítását a kívánt eredmény elérése érdekében. A felhasználó profitálhat az állandó eróziós sebességből és a homogén rétegekből, ha a porlasztó céltárgy szemcséi egyenletesen vannak elhelyezve. 100 m a jellemző szemcseméret.

A fémporlasztó céltárgynak kiváló kémiai tisztaságúnak kell lennie, mert ez nagyobb elektromos vezetőképességű filmeket eredményez, és csökkenti a részecskeképződést a PVD-folyamat során. A 3N5 volfrám céltárgy tipikus elemzési bizonyítványa alább található.

Analitikai technikák:

1. A fémes elemek vizsgálatára GDMS-t és ICP-OES-t használtunk.
2. A LECO a gáz összetevőit vizsgálta.

Az anyag-előkészítés, a szinterezés és a kémiai elemzés a wolframporlasztási cél előkészítésének lépései. Hengerlés, naplózás, metallográfiai ellenőrzés, gyártás, háromdimenziós ellenőrzés, tisztítás, végső ellenőrzés, csomagolás és szállítás

Volfrámporlasztásos célpont és elkészítési technikája
99,95 százalék feletti tisztaság, 2,2-2,6 mm, hideg izosztatikus préselés 5-10 percig, 2300-2400 fok, 8-12 óra közepes frekvenciájú indukciós szinterezés és 1450-1500 fokos wolframpor keverék. 1550 fokon 90-180 percig tartó izzítást követően több mint 60 százalékos teljes deformációval melegen hengereljük 5-15 mm vastagságig. 90-150 perces izzítási periódus után 1300-1400 fokon mechanikai feldolgozásra kerül sor. A végső wolfram célanyag nemcsak jó teljesítményű, hanem meglehetősen könnyen feldolgozható is, és nem igényel drága felszerelést. A felület mechanikai megmunkálása körülbelül 1,5 mm.

Más volfrám célötvözetek is rendelkezésre állnak.
Volfrám-titánból, volfrám-titánötvözetből, volfrám-rézből, volfrám-mangánból, volfrám-nikkelből stb.

Népszerű tags: volfrám porlasztó célpont, beszállítók, gyártók, gyár, testreszabott, vásárlás, ár, árajánlat, minőség, eladó, raktáron