A célanyag széles piaccal, sokféle hasznos felhasználási területtel és ígéretes jövővel rendelkezik. Nézzük gyorsan át a célanyag elsődleges teljesítménykövetelményeit, hogy jobban megérthesse az anyag teljesítményét. Őszintén remélem, hogy hasznos lesz az Ön számára.
Tisztaság: Mivel a céltárgy tisztasága jelentős hatással van a fólia teljesítményére, a tisztaság a céltárgy egyik elsődleges teljesítménymérője. A célanyag tisztasági kritériumai azonban a gyakorlati alkalmazásokban eltérőek. Például a szilícium mérete ostyák 6′′, 8′′-ról 12′′-ra nőtt a mikroelektronikai ipar gyors terjeszkedése miatt, a vezetékek szélessége pedig 0.5um-ról 0.25um-ra, 0 .18um, vagy akár 0.13um, korábban 99. A 995%-os céltisztaság kielégítheti a 0.35umIC eljárás követelményeit, míg a 0.18um elkészítéséhez 99 szükséges sor.99.9999% vagy akár 999%.
Szennyezőanyag-tartalom: A lerakódott film szennyeződésének fő forrásai a megcélzott szilárd anyagban lévő szennyeződések, valamint a pórusokban lévő oxigén és vízgőz. Különféle célpontok különböző okokból eltérő szennyezőanyag-tartalmat igényelnek. Például a félvezető szektorban speciális szabványok vonatkoznak a radioaktív elemek és alkálifémek a tiszta alumíniumból és alumíniumötvözetekből készült céltárgyakban.
Sűrűség: A célanyagnak általában nagyobb sűrűséggel kell rendelkeznie, hogy csökkentse a szilárd anyag pórusait, és növelje a porlasztott film funkcionalitását. A film elektromos és optikai jellemzőit a célanyag sűrűsége is befolyásolja, a porlasztási sebesség mellett.A fólia teljesítménye a célsűrűséggel növekszik.A célanyagnak a porlasztási folyamat alatti hőstressz túlélési képessége a sűrűségének és szilárdságának növelésével is javul.A céltárgy egyik fő teljesítménymérője a sűrűség.
