Fémcél A porlasztás alapjai
Cél, egyszerűen elektronok felhasználása vagy nagy energiájú lézerbombázás a bevonatok porlasztásához. Végül a felületi komponensek lerakódnak a hordozó felületére, miután atomcsoportokként vagy ionokként kiporlasztották őket, filmképző folyamaton mennek keresztül, és vékony filmet hoznak létre.
A porlasztó bevonatok széles választékban kaphatók. Jellemzően párolgási bevonat A porlasztási sebesség lesz az egyik kulcsparaméter, ami különbség. A porlasztóbevonatban lévő lézeres porlasztó bevonat pld egyszerű az összetétel egyenletes tartása érdekében, de a vastagság egyenletessége atomi léptékben viszonylag gyenge (mert ez impulzusporlasztás) és a kristály orientáció (külső él) növekedésének szabályozása viszonylag általános.
A hordozó és a célanyag közötti rácsillesztés mértéke, a bevonat környezete (alacsony nyomású gázatmoszféra), a hordozó hőmérséklete, a lézerteljesítmény, az impulzusfrekvencia és a porlasztási idő a pld fontos paraméterei, például . Az ideális paraméterek különféle aljzatokhoz és porlasztó anyagokhoz szükségesek. A kísérletek szerint különböznek egymástól. A bevonóberendezés azon képessége, hogy pontosan tudja szabályozni a hőmérsékletet, biztosítsa a jó vákuumot és fenntartsa a vákuumkamra tisztaságát, a három kulcsfontosságú tényező, amely meghatározza a minőségét.
